Hệ thống xử lý ướt wafer
Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Name: Robotechnik Europe OPTIwet ST30
Brand: Robotechnik Europe
Availability: InStock

Tình trạng

Đã qua sử dụng

Vị trí

Đức

Hệ thống xử lý ướt wafer Robotechnik Europe OPTIwet ST30

Hiển thị bản đồ

Thông tin về máy móc

Tên máy:: Hệ thống xử lý ướt wafer

Nhà sản xuất:: Robotechnik Europe

Mô hình:: OPTIwet ST30

Tình trạng:: sẵn sàng sử dụng (đã qua sử dụng)

Giá & Vị trí

Vị trí:: Deutschland

Gọi điện

Chi tiết về đề nghị

ID tin đăng:: A20618495

Số tham chiếu:: INNO30389

Cập nhật:: lần cuối vào ngày 26.11.2025

Mô tả

System for wet chemical processing of wafers up to 12in, substrates up to X/Y 9in/9in, stand-alone housing, process modules, PP process chamber, 2 programmable media arms, rotational speed 1-4000rpm, acceleration ramp 1-3000rpm, spin time 1-999s, exhaust process bowl 2x DN110, chamber 2x DN110, housing 1x DN110, control 1x DN110 (each approx. 200m³/h), CDA 8+/-2bar, vacuum -0.8+/-0.2bar, nitrogen 4.0+/-0.5bar, 3 media drains, waste box for 2 concentrate wastes, reagent box with pressure vessel, 4 Julabo thermostat baths. The system was dismantled during disassembly. Viewing possible by arrangement.
Ndsdpfx Asxzii Ued Esd